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    基于对MEMS传感器以及模拟电路设计经验的积累,于近两年发布了一系列超低噪声的振动传感器。它们可以用来替代传统的压电传感器,可以说是列划时代的产品,使得智能制造成为可能。

    “能和人对话,目前专注的领域是振动分析,当然,一般振动分析会结合温度检测应用。通过振动分析,可以保证机器的安全性,做预维护,量产保证以及质量监控。”

    与传统的压电传感器相比,MEMS的振动传感器有非常多的优势,比如说MEMS可以低频甚至是直流信号,但压电的就不行,这是受其设计原理的限制。再就是耐冲击的能力;随着时间和温度变化,传感器的稳定性;整个测量范围内的线性度;刻度因子的平坦度;物理尺寸;传感器是否能自检等等。这些都是MEMS振动传感器的优点。还有最重要的一点就是价格,由于压电传感器需要手工制作,既无法保证一致性,又使得其成本很高,很难享受规模效应所带来的好处,但MEMS振动传感器是采用的标准半导体工艺,很容易利用规模效应来控制成本,使得其与压电传感器相比,有明显的价格优势。这样,才能让所有的机器说话,因为其成本是可接受的。

    未来该类传感器的发展会是小型化,低功耗,低噪声,大带宽和高量程。而且在客户端会有越来越多的无 线解决方案来替代传统的有线方案。

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