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①压阻式传感器的活络系数比金属应变式压力传感器的活络度系数要大50-100倍。有的时分压阻式传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。
②由于它选用集成电路工艺加工,因而结构尺度小,重量轻。
③压力分辨率高,它可以检测出像血压那么小的微压。
④频率响应好,它可以测量几十千赫的脉动压力。
⑤由于传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上,所以它工作牢靠,概括精度高,且运用寿命长。
⑥由于选用半导体材料硅制造,传感器对温度比较活络,如不选用温度补偿,其温度差错较大。
压阻式传感器有两种类型:一类是使用半导体材料的体电阻制成张贴式的应变片,形成半导体应变式传感器;另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成分散电阻,构成活络元件,称为分散型压阻式传感器。
压阻式传感器受温度影响较大,会发作零位漂移和活络度漂移,因而会发作温度差错。
压阻式传感器中,分散电阻的温度系数较大,电阻值随温度改动而改动,故引起传感器的零位漂移。
传感器活络度的温漂是由于压阻系数随温度改动而引起的。当温度升高时,压阻系数变小,传感器活络度要下降,反之,则活络度升高。
零位温漂一般可用串、并联电阻的方法进行补偿。
活络度温漂经过在电桥的电源回路中串联二极管来补偿。
别的,压阻式传感器也可将四个分散电阻接满足桥,为了减小温度的影响,可选用恒流源供电。
可见,电桥的输出与电阻改动成正比,即与被测量成正比,也与电源电流成正比,输出电压与恒流源电流的巨细和精度有关,但与温度无关,所以恒流源有很好的温度补偿作用。